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Fluides ultra purs
Gaz vecteurs (azote, oxygène, hydrogène, argon, hélium…), gaz spéciaux (silane…),
Liquides chimiques : les fluides utilisés dans les fabs sont ultra purs. De nouvelles molécules sont sans cesse en développement.

Gestion des fluides
Les équipes, installées chez les clients, prennent en charge la gestion complète des fluides d’un site.

Équipements
Conception, fabrication et installation des équipements de distribution des fluides. Matériels spécifiques pour le traitement des effluents issus des procédés de fabrication des puces : vers des fabs « vertes ».